空间飞轮轴承DLC涂层表面改性的工艺研究

2023-09-29

空间飞轮是三轴稳定卫星姿态控制的执行机构之一,它直接影响着卫星的精度和寿命。轴系是飞轮本体的关键组件,工作在高真空、高低温交变的特殊环境。轴承是飞轮的承载件,在低速运行时,轴承滚珠和滚道间处于边界润滑状态,容易发生疲劳磨损坏。

类金刚石薄膜是一种短程有序而长程无序、具有非晶态和微晶结构的含氢碳膜,是人工合成的含有sp碳和sp碳混杂的非晶亚稳态结构。它具有类似金刚石膜的高硬度、高化学稳定性、高热传导率、高电阻率、高耐磨和抗腐蚀性、优异的生物兼容性,以及特有的、比金刚石膜更好的极低真空摩擦因数等特性,因而在光学、机械、热学、声学、生物医学、电子、计算机硬盘和红外光窗口等领域具有广阔的应用前景。

等离子体浸离子注与沉积技术同传统的离子注人技术相比具有费用低、非视线性薄膜厚度可控和能处理大靶、复杂形状靶等优点,采用等离子体浸离子注人与沉积技术将类金刚石薄膜沉积在轴承钢上,轴承钢的摩擦因数由087下降到0.1摩擦磨损性能得到较大改善。

轴承内外圈十无氢类金刚石(DLC)沉积。轴承内外圈无氢类金刚石(DLC)沉积工艺中,无氢类金刚石(DLC)沉积过程中,高压脉冲宽度小于脉冲阴极弧放电脉冲的宽度,从而使膜层中既存在右墨(无高压脉冲情况下形成)又存在金刚石结构。

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